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半導体

石英管洗浄装置/他

有機ELメタルマスク自動洗浄装置
溶剤のリサイクル含めた搬送システムにて特許取得(日本、米国、中国、韓国)
各種半自動洗浄装置/エッチング装置
処理槽が縦列配置で搬送ロボット付き
LD不要でカセットを水洗槽上にてセットし処理槽へ搬送します。
治具洗浄装置
石英、テフロン、アルミナ製など様々な治具を洗浄。
保管庫

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