- 枚葉洗浄装置
- 均一なエッチングとメンテナンスに重視
- 自動洗浄装置
- カセットタイプの300Φまで対応可能です。
- 自動エッチング装置
- 自動剥離装置
- 連続投入の場合、600枚以上のハイスループット実現！
- 結晶系テクスチャー装置
- 半導体の技術を生かした高性能テクスチャー装置が可能
- 薄膜枚葉装置
- インライン対応型
- 自動エッチング装置
- 2インチから自動機をご提供出来ます。
- リフトオフ装置
- 高圧スプレー式により剥離効果を高めます。
- 減圧エッチング装置
- 自動エッチング装置
- チップ上のワークも独自の乾燥方式にて処理いたします
- 自動現像装置
- ハイスループット
- 石英管洗浄装置／他
- Φ90〜450の石英管洗浄対応
縦型・横型ﾀｲﾌﾟがありﾕｰｻﾞｰのﾆｰｽﾞに対応します
縦型のチューブ内部は弊社オリジナルノズルロケーションにて高洗浄可能
- 薬液供給装置
- ユーザーの指定のボトルタンクから装置にポンプアップ・加圧供給いずれにも対応いたします。
５Ｌから１００Ｌまでのタンクに対応、ユーティリティーゾーンから２重配管にて供給
既存の供給庫と新規供給庫との入れ替え可能