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薬液供給装置
- IPAベーパー乾燥機（V/D)
- 自動昇降付き、消化器装備、スタンドアロン／自動機組み込み可
8インチや300㎜用もラインナップ
- マラゴニン乾燥機（M/D)
- 低温IPAに常温N2ハﾞフﾞリンクﾞで生成
クリｰンで均一なヘﾞｰハﾟｰ供給が可能
乾燥物(表面状態)に適したヘﾞｰハﾟｰ濃度の調節が可能
乾燥物がIPA幕(DIW面)から露出後､IPA擬宿置換
ウォｰタｰマｰクレスに重要
低温処理が可能
- スピンドライヤ（S/D)
- 対向式
バーチカルもあります
スタンドアロン／自動機組み込み可
- 薬液調合ユニット
- 濃度コントロールして連続供給可能
枚葉装置のOEM対応いたします。
- ウェハ移載器
- キャリアtoキャリアのウエハ移裁。
キャリアのセットミス防止機能付き
オｰトタイフﾟの移裁器有り
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